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超音波スピンドル
より深く、より微細に本物の『超音波加工』が微細加工を新たなステージへ
より高い精度を求めていた方に朗報。今お使いの機械にオーダーメイドすることも可能。
◆
設計された振動を工具先端へ
従来型と違い工具の固定には、焼きばめチャックを採用、設計された振動を工具先端へ。
◆
従来型の１／３のコンパクトサイズ
スピンドルの外径は、従来型の1/3と非常にコンパクト、あらゆる小型機械に取付可能。
◆
従来型の２倍以上の高速回転
主軸の回転数は、従来型の２倍以上の高速回転が可能。
◆
工具のたわみを抑制
高アスペクト比の小径工具を用いた、転削加工時（切削、研削など）の問題点となる、工具のたわみを抑制。
◆
高精度・超精密な微細加工
半導体用途のセラミックスなどの高脆材、微細形状金型などの超硬部材に対する微細・高精度および高能率切削・研削加工に有効。
n:回転数
f:周波数
a:振幅
超音波スピンドル内部の構造
超音波スピンドルは、新しい加工技術のニーズにお応えします。
高さ 280mm
直径 φ56mm
高さ 280mm
直径 φ45mm
R2 Unit
仕様
型式
R2
振動方向
縦振動（工具軸方向）
超音波周波数
約40 kHz ※1
振幅(0-p)
0-2 μm ※1
回転速度
5,000-20,000min-1
駆動電源
AC100V50／60
（モータユニット，超音波発振器）
供給空気圧力※2
0.1 MPa （モータ用）
0.05 MPa （冷却用）
※1 仕様によって異なります。
※2 クリーンなドライエアー。
Technical Data １
長いボールエンドミルによる溝加工
工具(刃数)
：
TiAlNコーティング深リブ用超硬ボールエンドミル(２枚刃)
ボール半径R=0.1mm , 工具長L=3mm
加工深さ：0.1mm
Depth of Cut
→
→
1mm
回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
NAK55
（40HRC）
送り速度
Feed
100mm/min
切込み量
Depth of Cut
0.005mm
(Ad)
クーラント
Coolant
オイルミスト
Oil Mist
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅（0-p）
Amplitude
1μm
Technical Data ２
長い電着工具による溝加工
工具：
ダイヤモンド砥粒電着砥石
ボール半径R=0.1mm , 工具長L=0.5mm
加工深さ：0.1mm
Depth of Cut
0.5mm
0.5mm
回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
ガラス
glass
送り速度
Feed
100mm/min
(Ad)
切込み量
Depth of Cut
0.002mm
クーラント
Coolant
水溶性
Water Oil
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅（0-p）
Amplitude
1μm
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